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化學機械拋光墊修整器

加工方式｜
研磨
應用領域｜
半導體材料加工

化學機械拋光墊修整器可讓研磨墊表面再生為最佳狀態，並將研磨墊的形狀進行修正及維持晶圓拋光速率。

 

加工材質|PU

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加工方式｜
研磨
應用領域｜
半導體材料加工
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